超短パルスファイバレーザ

aeroPULSE PS

aeroPULSE PS – 高出力狭線幅ピコ秒レーザ

aeroPULSE PSは、高出力かつ狭線幅のピコ秒ファイバレーザです。フォトニック結晶ファイバプラットフォームをベースとしています。

要求の厳しいOEM用途向けに開発されており、優れた個体間の再現性と高い稼働率を実現し、低いトータルコストでスムーズな装置への組み込みを可能にします。

特長

  • 最大40 Wの平均光出力
  • 最大400 MHzの繰り返し周波数
  • 狭線幅
  • 低い総保有コスト(Cost of Ownership)
  • 優れたビームポインティング安定性
  • メンテナンスフリーの24時間365日連続稼働

製品詳細

半導体ウエハ処理やマイクロマシニング用途における厳しい要件を満たすように設計されており、信頼性に優れています。

要求水準の高い用途向けに最適化

コンパクトなaeroPULSE PSは最先端のモードロック技術を採用しており、優れた長期安定性、極めて狭い線幅、低ノイズ、高品質なTEM00モードを兼ね備えた超短ピコ秒パルスを提供します。

aeroPULSE PS40は標準仕様として、波長1030 nmにおいて最大40 Wの出力を提供します。また、ご要望に応じてSHGを含めその他の波長にも対応可能です。

堅牢な産業向け設計

本製品は、19インチラックマウント対応の制御ユニットと、水平・垂直どちらでも設置可能なレーザヘッドで構成されています。レーザーヘッドは、低出力性能向けの空冷式と、高出力性能向けの水冷式を選択できます。

RS-232インターフェースによるリモート制御

本製品は、RS-232インターフェースを介してリモート制御が可能で、主要パラメータの詳細なオンボードデータロギング機能を搭載しています。当社独自の製造技術により製品品質を確保し、厳密に管理されたサプライチェーンによって一貫した品質を実現しています。

仕様

光学的特性

出力*1 最大40 W
波長*1 1030 nm
パルス幅 5 ps
繰り返し周波数*1 10 MHz ~ 400 MHz
偏光 直線偏光 (PER > 17 dB)
ビーム径 ≈1 mm
ビーム広がり角 1.6 ± 0.2 mrad
基本空間モード M2 ≤ 1.2
出力変動 (50時間) < 0.5 %
ウォームアップ時間 < 1 min

*1 その他の値をご希望の場合はご相談ください。

機械的特性

システム冷却方式 水冷式 *1 (低出力向けに空冷オプションあり)
動作温度 +18 ℃ ~ +30 ℃
保存温度 -10 ℃ ~ +60 ℃
レーザヘッド寸法 (W×H×L) 335.5 mm × 100 mm × 450 mm
制御ボックス寸法 375 mm × 177 mm × 440 mm (4U 19インチラック)
レーザヘッド重量 10.2 kg
制御ボックス重量 最大14.7 kg

*1 チラーは別途ご用意ください。必要な仕様についてはお問い合わせください。

電気的特性

コンピュータインターフェース USB 2.0、RS-232
動作電圧 100 VAC ~ 240 VAC、50 Hz / 60 Hz
消費電力 < 330 W

外形寸法図 (単位: mm)

製品の購入やさらに詳しい情報についてはお問い合わせください。

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