FLAT EXCIMER FLAT EXCIMER

特性・特長 | FLAT EXCIMER

平面型ランプとRF(高周波)放電の採用により、均一な照射とちらつきの少ない安定した出力を実現したエキシマランプ光源です。

従来のコロナ放電方式・プラズマ方式に比べて、ダメージレスで粉塵の発生がありません。

特性

発光スペクトル分布(代表値)

発光スペクトル分布(代表値)

特長

  • 平面型ランプ採用による均一な照射
  • RF (高周波) 放電採用によるちらつきの少ない安定出力
  • 電源オートチューニング機能による高効率な点灯

平面型ランプ採用による均一な照射

平面型ランプ

平面型ランプ

面全体で近接可能

ユニフォミティが良い

円筒型ランプ

円筒型ランプ

ランプ中心直下しか近接できない

ユニフォミティが良くない

照射強度分布 (代表例:EX-86U / EX-mini)

照射強度分布 (代表例:EX-86U / EX-mini)

RF (高周波) 放電採用によるちらつきの少ない安定出力

RF放電

RF放電 イメージ

均一な放電で発光ムラがない

誘電体バリア放電

誘電体バリア放電 イメージ

糸状の放電で発光ムラがある

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