VUVイオナイザ VUVイオナイザ

真空紫外(VUV)光源ユニット

真空紫外光を利用した静電気除去ユニットです。MgF2窓付き重水素ランプの弊社従来品に比べ、約3倍の広角照射を実現し、減圧下での広い面積の除電が可能となりました

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