2次元PSD

2次元の位置検出を行うPSDです。表面分割型は高速応答・低暗電流で、両面分割型は位置検出誤差が少なく、優れた分解能をもっています。改良表面分割型は表面分割型の長所を生かしつつ、両面分割型に近い位置検出誤差をもっています。

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