Siフォトダイオード

S8553

VUV (真空紫外)検出用フォトダイオード

S8553はVUV (真空紫外)光に感度をもつフォトダイオードです。特にエキシマレーザ ArF (λ=193 nm)の検出に適しています。VUV領域での使用に適した設計により、従来品と比較しVUV光照射に対する感度の安定性が向上しています。


■特長
・ArF (λ=193 nm)エキシマレーザに対する信頼性が向上
・大受光面サイズ: 18 × 18 mm
・窓なしパッケージを採用: 25.5 × 25.5 mmセラミックパッケージ

必ずお読みください

本製品は、チップが露出している未封止製品です。チップ上の電極などが外囲器によって保護されていないため一般製品と比べ、その取り扱いには厳重な注意が必要です。本製品をご使用になる前に、以下の「未封止製品/使用上の注意」を必ずお読みください。

未封止製品/使用上の注意 [PDF]

仕様

受光面サイズ 18 × 18 mm
素子数 1
パッケージ セラミック
パッケージカテゴリ 未封止
冷却 非冷却
逆電圧 max. 5 V
受光感度 typ. 0.06 A/W
暗電流 max. 5000 pA
上昇時間 typ. 18 μs
端子間容量 typ. 8000 pF
測定条件 指定のない場合はTyp. Ta=25 ℃, 受光感度: λ=193 nm

VUV照射による感度変動

外形寸法図 (単位: mm)

関連ドキュメント

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