インライン検査に適したInGaAsラインスキャンカメラをリリース
11月1日より販売開始

  • 浜松ホトニクス株式会社 システム営業推進部

当社は、50年以上前から近赤外イメージングカメラの製造を開始し、長年にわたり近赤外イメージング技術の開発に取り組んできました。現在は、貼り合わせSiウェーハのボイド検査やIC内部観察、通信用機材検査などに高画質イメージングが可能なInGaAsエリアカメラを提供しています。これまでに200以上の企業や大学、研究施設に導入実績があり、多くのお客様から好評をいただいています。

このたび、インラインでの非破壊検査に対応した「InGaAsラインスキャンカメラ C15333-10E」を発売します。エリアカメラでは対応が困難であったパッケージ内の液量・容量など入味検査、農産物キズ・異物検出など、コンベアなどで搬送される対象物の検査、半導体デバイスの高解像度検査、太陽電池等半導体材料の欠陥検査などに高感度かつリアルタイムで対応します。

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InGaAsラインスキャンカメラ C15333-10E

特長

近赤外波長において高感度

感度波長は950 nm~1700 nmまで対応し、その中でも広い範囲で量子効率60%以上を実現しています。

分光感度グラフ

広い視野での撮像

640(H)×512(V)の視野を持つ従来のInGaAsエリアカメラ(弊社製C12741-03)に比べ、水平方向の画素数が1024画素と、広い視野での撮像が可能です。

高速なインライン検査に対応

ラインレート 40 kHz/ラインでの撮像を実現しています。

画素補正機能内蔵による高画質

素子の性能を活かし低ノイズ読み出しを可能にした回路設計に加え、素子の白点や画素間の感度差、直線性(リニアリティ)をカメラに内蔵された画素補正機能で補正することにより、高画質を実現します。

画像補正 比較

Gigabit Ethernetインターフェース採用

産業分野で広く使われているGigabit Ethernetインターフェースを採用し、GigE Visionに対応しています。

GigE logo

コンパクトかつ軽量なカメラヘッド

サイズ 49 mm(H)×49 mm(V)×100 mm(D)(突起部含まず)、重量 250 gとコンパクトかつ軽量なヘッドのため、機器組込みに最適です。

InGaAsラインスキャンカメラ C15333-10E 外形寸法図

リーズナブル

従来のInGaAsエリアカメラ(弊社製 C12741-03)に比べ、価格が約1/3と非常にお求めやすい価格になりました。

撮像例

コーヒー豆に混ざった石の検出

サイズや色味が類似しているため可視画像では判別が難しい石が、近赤外画像では容易に判別できます。

コーヒー豆の混入比較画像

密閉された容器の液量検出

ジュースやヨーグルトなど密閉された容器の液量を近赤外光を使って確認することができます。

スムージーの液量検査

米に混ざった異物(石、ビニール)の検出

サイズや色味が類似していて可視光では区別が難しい異物も、近赤外光で撮像した画像であれば容易に区別できます。

米の混入比較画像

りんごの傷みの検出

皮自体の濃淡によって可視では判別が難しいりんごの傷みを検出することができます。

りんご比較画像

プラスチック容器の入味検査

インスタント食品など包装されたプラスチック容器の中身を近赤外光を使って確認することができます。

カップ麺比較画像

半導体ウェーハの内部検査

Siウェーハの内部パターンを観察することができます。

半導体ウェーハ比較画像

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