最大300 mmウェーハの全面膜厚をわずか5秒で計測
新手法で半導体製造の生産性向上に貢献する「HyperGauge® 面内膜厚計」を開発
12月1日より受注開始

2025年12月01日
  • 浜松ホトニクス株式会社
    本社:浜松市中央区砂山町325-6
    代表取締役社長:丸野 正(まるの ただし)

HyperGauge 面内膜厚計 C17319-11

HyperGauge 面内膜厚計 C17319-11

浜松ホトニクスは、半導体製造工程の生産性向上に貢献する「HyperGauge (ハイパーゲージ)面内膜厚計 C17319-11」 を開発しました。本製品は、高感度カメラを用いた独自の波長検出技術 「λ-Capture®※1(ラムダキャプチャー)」 を搭載し、最大で直径300 mmウェーハの全面膜厚をわずか 5秒で一括測定することが可能です。さらに、高分解能と優れた測定再現性を兼ね備え、ベアウェーハはもちろん、パターンウェーハの検査にも対応することができます。半導体製造におけるプロセスロスの低減や歩留まり向上が期待されます。

本製品は、12月1日(月)から国内外の半導体メーカーや半導体製造装置メーカー、半導体検査装置メーカーを対象に受注を開始します。

 

※1:λ-Capture:

分光器を用いず波長を測定できる独自の波長検出技術で、波長を2次元で計測できるため、高速にウェーハ全面の分光計測をすることができる。

 

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