真空紫外光源ユニット

L15094

弊社製高出力重水素ランプの採用により、高安定・長寿命に加えて、高い除電性能を誇る高出力照射モデルです。

除電性能を最大限まで引き上げたことで、帯電量の多い対象物や高速搬送が伴う対象物の静電気除去に有効です。また、除電時間短縮によるスループット向上にも貢献します。真空中(減圧下)にある残留原子 / 分子のイオン化により、イオンリッチな環境を構築することが可能です。

仕様

項目 内容・値 単位
窓材質 MgF2
発光波長範囲 115 ~ 400 nm
予熱時間 25 ±5 s
光出力安定性 フラツキ(p-p) Max. 0.05 %
ドリフト Max. ±0.3 %/h
ランプ保証寿命 (*1) 1000 h
リプレイスランプ(別売) L15294
真空フランジ - (*2)
気密方法 Oリング
リーク量 1 x 10-10 Pa m3/s (*3)
入力電圧(AC) 100 V ~ 240 V、単相 50 Hz / 60 Hz
消費電力 Max. 200 VA
光源部冷却方式 冷却ファンによる強制空冷
動作温度範囲 +10 ~ +40
保存温度範囲 0 ~ +60
動作湿度範囲 80 %以下(結露なきこと)
保存湿度範囲 85 %以下(結露なきこと)
外部制御 点灯制御、点灯信号、各種エラー信号

*1: 寿命の定義は230 nmでの光出力が初期値の50 %に低下した時点、または光出力安定性が仕様のMax.の値を超えた時点としています。光出力の減衰は真空装置の環境に大きく左右されます。

*2: 関連製品にて記載の真空フランジが使用可能です。装置への取り付けについては、必要に応じてお問合せください。

*3: Heリークディテクタで確認した結果です。

特性

除電性能(代表値)

除電時間 - 距離

除電時間 - 真空度

配光特性(代表値)

照射範囲(代表値)

装置取付例

外形寸法図 (単位:mm)

光源部(質量:約1.3 kg)

電源部(質量:約2.8 kg)

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