Siフォトダイオード

S10043

高信頼性VUV検出用フォトダイオード

S10043は、高出力ArFエキシマレーザ (193 nm)を正確に安定して検出するためのSiフォトダイオードです。新規開発した極薄PN接合と高信頼性を実現した極薄金属膜の形成技術を組み合わせることで、1 kJ/cm2のArFエキシマレーザ照射後でも感度劣化はほとんどありません。


■特長
・ArF (λ=193 nm)エキシマレーザ照射に対して感度安定性を大幅に改善
・受光窓なしのパッケージ

必ずお読みください

本製品は、チップが露出している未封止製品です。チップ上の電極などが外囲器によって保護されていないため一般製品と比べ、その取り扱いには厳重な注意が必要です。本製品をご使用になる前に、以下の「未封止製品/使用上の注意」を必ずお読みください。

未封止製品/使用上の注意 [PDF]

仕様

受光面サイズ 10 × 10 mm
素子数 1
パッケージ セラミック
パッケージカテゴリ 未封止
冷却 非冷却
逆電圧 max. 5 V
感度波長範囲 190~1000 nm
最大感度波長 typ. 720 nm
受光感度 typ. 0.015 A/W
暗電流 max. 1000 pA
上昇時間 typ. 9 μs
端子間容量 typ. 4000 pF
測定条件 Ta=25 ℃, 受光感度: λ=193 nm

分光感度特性

外形寸法図 (単位: mm)

関連ドキュメント

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