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hama hot vol.14
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浜松ホトニクスは品質改善活動に積極的に取り組んでいます。

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プラズマプロセスモニタ

プラズマプロセスモニタ

特長

広帯域スペクトルを同時計測

広帯域でラジカルやイオンからのスペクトルをとらえます。(200 nm~950 nm)

リアルタイムでプロセスをモニタ

プラズマプロセスを最速20 msで最大15 000スペクトルまで連続計測します。(判定演算時は、最速50 ms)

高精度かつ高信頼性の計測

高い波長分解能特性を持つ分光器と広帯域をカバーする超高感度光検出器を機械的に固定し、鮮明なプラズマの結像を得ることで優れた波長精度や分光感度特性を実現しています。

紫外光領域の高感度検出

200 nmの紫外領域のスペクトルを超高感度で検出できます。

光ファイバで容易な計測

プラズマ装置のチャンバに広く使われているSMAコネクタの採用により、容易な取付けを実現しています。

マルチチャンバ対応

USB 2.0のネットワークを用いて1台の解析装置で最大4台のプラズマプロセスモニタを制御できます。

データ計測ソフトウエア

プラズマプロセスのスペクトルをデータベースへ自動保存します。保存されたデータを用いてスペクトルデータの演算をシミュレーションできます。

オプションソフトウエア

高感度な終点判定や異常スペクトルによるプロセス異常の検出など、検出モデルを作成し、リアルタイムでモニタリングを行います。

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