GaN結晶の品質定量評価を実現
ODPL測定法による結晶品質評価装置を開発
8月2日から販売開始

2021年07月06日
  • 浜松ホトニクス株式会社
    本社:浜松市中区砂山町325-6
    代表取締役社長:晝馬 明(ひるま あきら)

ODPL測定装置 C15993-01

ODPL測定装置 C15993-01

浜松ホトニクスは、独自の光検出技術や光学設計技術、情報処理技術により、全方位フォトルミネッセンス(Omnidirectional Photoluminescence、以下ODPL)測定法を利用した結晶品質評価装置「ODPL測定装置 C15993-01」を開発しました。本製品により、次世代パワー半導体の材料として注目が高まっている窒化ガリウム(以下GaN)結晶の品質の定量評価を実現したことで、品質向上に向けた研究開発の効率を高めることができると期待されます。

本製品は、8月2日(月)より国内外の大学や半導体基板メーカーの研究者に向け、販売を開始します。また、7月14日(水)、パワー半導体と化合物半導体に関するオンラインイベント「SEMI パートナーサーチ -For Power & Compound-」にて紹介します。