MEMSミラー

S13124-01

小型・高性能・リニアモード
電磁駆動式のレーザ2次元走査型MEMSミラー

当社独自のMEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)技術を応用した電磁駆動式のミラーです。ミラーの下に磁石を配置することで小型化し、リニアモードで2次元走査を実現しています。ミラー周辺のコイルに電流を流すと、フレミングの法則によってローレンツ力が発生し、ミラーを駆動します。当社のMEMSミラーは、広い光学的振れ角、高いミラー反射率も実現しています。


■特長
・リニアモードで2次元走査
 ベクタースキャン、ステップ動作が可能
・小型
・低電圧駆動: 機器への搭載に適している
・窓材付き: 異物混入を防止
・評価回路を用意: C15087 (別売)

タイプ 2軸リニアスキャン
動作モード 第1軸: リニアモード
第2軸: リニアモード
ミラーサイズ φ1.95 mm
ミラー材質 アルミニウム
光学的振れ角 第1軸: ±10°
第2軸: ±10 °
駆動周波数 (max.) 第1軸: 90 Hz
第2軸: 90 Hz

外形寸法図 (単位: mm)

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