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構造と原理 | MEMSミラー

構造と原理

MEMSミラーにおいては、単結晶シリコン上に金属のコイルを形成し、コイルの内側にMEMS加工によりミラーを形成し、ミラーの下に磁石を配置しています。

 

磁石の磁界中において、ミラー周辺のコイルに電流を流すことにより、フレミングの法則によってローレンツ力が発生し、ミラーに傾きが生じます。また、MEMS加工により形成された2つのバネの組み合わせにより、ミラーを2次元に駆動することが可能です。

 

これによりミラー面に入射したレーザ光の光路を変え、走査して投影します。電磁駆動式であるMEMSミラーは、静電式・圧電式に比べて、低電圧駆動、使いやすいことが特長です。

電磁式MEMSミラーの特徴 (ガルバノミラーとの比較)

MEMSミラーはガルバノミラーと比べて、小型、2軸対応が可能、低コストといったメリットがあります。
当社のMEMSミラーは、MEMS技術と光半導体技術を応用した電磁駆動式を採用しています。

項目 MEMSミラー (電磁式) ガルバノミラー
駆動方式 電磁式 (ローレンツ力) モーター (ローレンツ力)
光学的振れ角
ミラー径
デバイスサイズ
コスト
2軸対応 △ (2台使用)
制御

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