高圧電源モジュール

C14921-01

C14921-01は、リニアアンプ方式を採用した4象限出力の高圧電源です。電源電圧は+24V、外部コントロール電圧-10V~+10Vに対応して-5kV~+5kVの電圧を出力します。 質量分析装置、電子線顕微鏡(SEM)、静電チャックなど電子やイオンの加速・掃引、静電クーロン力制御等、高圧の極性切り替えなどに最適な電源です。

特長

  • 両極出力: 最大±5 kV / 200 μA
  • 高速応答: 250 μs Typ.(立上り / 立下り)
  • 出力モニタ(電圧 / 電流)搭載
  • 出力電流制限機能搭載
  • 小型軽量 390 g

用途

  • 質量分析
  • 電子顕微鏡 (SEM)
  • 静電チャック
  • セルソータ

特性図

コントロール電圧 vs 出力電圧

モニタ電圧 vs 出力電圧

モニタ電圧 vs 出力電流

立上り時間 (-5 kV ~ +5 kV)

周波数応答(100 Hz正弦波の場合)

リップル / ノイズ

電流リミッタの応答*

* 最大負荷時、電流制限値制御電圧 = +5 V(電流制限100 μA設定)の場合

仕様

タイプ バイポーラ出力
入力電圧 +24 V ±1.2 V
入力電流(全負荷) Typ. 300 mA
最大出力電圧 -5000 V ~ +5000 V
最大出力電流 200 μA
入力変動率 ±0.01 % (+22.8 V ~ +25.2 V の入力変動に対して)
負荷変動率 ±0.01 % (負荷 0 % ~ 100 % の変化に対して)
リップル/ノイズ (peak to peak) (Max.) 3 V
動作周囲温度 0 ℃ ~ +50 ℃
動作周囲湿度 80 % 以下
保存温度 -40 ℃ ~ +70℃
保存湿度 80 % 以下
外形寸法 (W x H x D) 155 mm x 33 mm x 96 mm
質量 390 g

外形寸法図 (単位: mm)

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