特長 | マイクロLED PL検査装置

PL計測法が可能にする3つのポイント

  • 外観検査だけでは分からない発光異常、波長異常を検出
  • エレクトロルミネッセンス(EL)検査では不可能な全数検査を可能に
  • 製造の前工程での検査を可能にし、歩留まり向上に貢献

PL計測法

高速、非接触、非破壊で全数検査が可能なPL計測とは

PL計測とは、光励起によるLEDからの発光をイメージングすることで、非接触、非破壊でLEDの特性を評価する方法です。

 

MiNY PLは、独自の2次元イメージング技術で、分光器を用いてスペクトルを計測することなく、ウェーハ面内の発光波長を一度に算出します。分光器を使ったスポット計測に比べ、面内発光波長を高速に取得することができます。

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