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MEMSミラー

S13989-01H

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小型・高性能
電磁駆動式のレーザ2次元走査型MEMSミラー

当社独自のMEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)技術を応用した電磁駆動式のミラーです。ミラーの下に磁石を配置することで小型化し、気密封止パッケージの採用により高信頼性を実現しています。ミラー周辺のコイルに電流を流すと、フレミングの法則によってローレンツ力が発生し、ミラーを駆動します。当社のMEMSミラーは、広い光学的振れ角、高いミラー反射率も実現しています。


■特長
・小型
・広い光学的振れ角
・低電圧駆動: 機器への搭載に適している
・高信頼性: 気密封止パッケージ
・低速軸: リニア動作が可能

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仕様

タイプ 2次元スキャン用
スキャンモード 2軸ラスタースキャン
動作モード 高速軸: ノンリニアモード(共振モード)
低速軸: リニアモード
ミラーサイズ φ1.23 mm
ミラー材質 アルミニウム
光学的振れ角 高速軸: ±20°
低速軸: ±12 °
駆動周波数 (max.) 高速軸: 29.3 kHz (typ.)
低速軸: 100 Hz

外形寸法図 (単位: mm)

KOTHA0007

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