Optical MicroGauge 厚み計

C11011-22

C11011シリーズは、レーザ干渉法を利用した厚み測定装置です。60 Hzの高速測定が可能で、生産現場でのインライン測定にも対応します。また、オプションのマッピングシステムと組み合わせ試料の厚み分布を測定することも可能です。製造工程モニタから品質管理まで、幅広い用途にご利用頂けます。

C11011-22は、測定膜厚範囲:25 μm~2200 μm(ガラス)、測定可能層数:10層対応モデルです。

特長

  • 赤外光計測により、非透明(白色)サンプルに対応
  • 25 μm~2200 μmの厚みに対応
  • 60 Hzの高速測定
  • 測定可能層数 10層
  • パターン付/保護フィルム付ウェーハの測定可能
  • ロングワーキングディスタンス
  • マッピングに対応(オプション)
  • 外部機器から制御

仕様

型名 C11011-22
測定膜厚範囲 (ガラス) 25 μm~2200 μm*1
測定膜厚範囲 (シリコン) 10 μm~900 μm*2
測定再現性(ガラス) 250 nm*3
測定再現性 (シリコン) 100 nm*4
測定精度 (シリコン) ±0.5 μm(≦500 μm)、±0.1 %(>500 μm)*4
光源 赤外LD(1300 nm)
スポットサイズ 約φ60 μm
ワーキングディスタンス 155 mm*5
測定可能層数 最大10層
解析 ピーク検出
計測時間 16.7 ms/point*6
外部通信機能 RS-232C、 Ethernet
インターフェース USB 2.0 (本体 - PC間)
電源 AC100 V~AC240 V、50 Hz/60 Hz
消費電力 約50 VA
ライトガイドコネクタ形状 FC

*1 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
*2 シリコンの屈折率を3.67で換算した場合。
*3 SiO2測定時の標準偏差。
*4 シリコン測定時の標準偏差。
*5 ワーキングディスタンスが1000 mmのタイプも用意しています。
*6 最短露光時間。

外形寸法図

c11011 外形寸法図

a8653-02 外形寸法図

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