Optical NanoGauge 膜厚計 C15151-01

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Optical NanoGauge 膜厚計 C15151-01は、分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。高出力で高安定な白色光源を採用したことにより、超極薄膜の膜厚測定を可能にしました。また、光源は10 000時間の長寿命を有しており、インライン運用に適しています。

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特長
仕様
外形寸法図

特長

・超極薄膜測定に対応（ガラス：1 nm ～、シリコン：0.43 nm ～）

・高い精度（測定再現性 : 0.1 nm以下）＊2 nmのSiO₂測定時

・高出力白色光源を使用

・長寿命（メンテナンスサイクル 1年以上）

・シーケンサ接続に対応

・タクトタイムを短縮（最速200 Hz）

・広波長対応（200 nm ～ 790 nm）

・ソフトウエアに簡易計測を搭載

・両面解析が可能

・高さ変動に強い

・光学定数（n, k）解析

仕様

型名	C15151-01
測定膜厚範囲	ガラス^1 : 1 nm ～ 20 μm シリコン^2 : 0.43 nm ^*3～ 8.6 μm
測定再現性	ガラス^{4 5} : 0.1 nm シリコン^*6 : 1 nm
測定精度^{5 7}	±0.4 ％
光源	高出力白色光源
測定波長範囲	200 nm～ 790 nm
スポットサイズ^*5	約φ1 mm
ワーキングディスタンス^*5	10 mm～
測定可能層数	最大10層
解析	FFT解析、フィッティング解析、光学定数解析
計測時間^*8	< 2 ms/point
外部通信インターフェース	RS-232C、Ethernet
出力信号	アナログ出力 : 0 V ～ 10 V/ハイインピーダンス　3チャンネル（最大3層）アラーム出力 : TTL/ハイインピーダンス　1チャンネルワーニング出力 : TTL/ハイインピーダンス　1チャンネル
入力信号	計測開始信号 : TTL/ハイインピーダンス　1チャンネル
電源電圧	AC100 V ～ AC240 V、50 Hz/60 Hz
消費電力	約130 VA
ライトガイドコネクタ形状	FC

*1 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
*2 シリコンの屈折率を3.67で換算した場合。
*3 シリコンの屈折率を3.67とした計算値。
*4 2 nmのSiO₂測定時の標準偏差。
*5 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
*6 30 μmのエタロン測定時の標準偏差。
*7 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
*8 最短露光時間。