Optical MicroGauge 厚み計 C11011シリーズ | 浜松ホトニクス

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C11011シリーズは、レーザ干渉法を利用した厚み測定装置です。60 Hzの高速測定が可能で、生産現場でのインライン測定にも対応します。また、オプションのマッピングシステムと組み合わせ試料の厚み分布を測定することも可能です。製造工程モニタから品質管理まで、幅広い用途にご利用頂けます。

カタログ 2.7 MB/PDF

特長
仕様
外形寸法図

特長

赤外光計測により、非透明（白色）サンプルに対応
60 Hzの高速測定
パターン付きや貼り合わせウェーハの測定可能
ロングワーキングディスタンス
マッピングに対応（オプション）
外部機器から制御

仕様

型名	C11011-02	C11011-02W	C11011-22	C11011-22W
測定膜厚範囲（ガラス）^*1	25 μm ～ 2200 μm	25 μm ～ 2900 μm	25 μm ～ 2200 μm	25 μm ～ 2900 μm
測定膜厚範囲（シリコン）^*2	10 μm ～ 900 μm	10 μm ～ 1200 μm	10 μm ～ 900 μm	10 μm ～ 1200 μm
測定再現性（ガラス）^*3	250 nm	250 nm	250 nm	250 nm
測定再現性（シリコン）^*4	100 nm	100 nm	100 nm	100 nm
測定精度 ^*5	±0.5 μm（≦500 μm）、±0.1 %（>500 μm）	±0.5 μm（≦500 μm）、±0.1 %（>500 μm）	±0.5 μm（≦500 μm）、±0.1 %（>500 μm）	±0.5 μm（≦500 μm）、±0.1 %（>500 μm）
光源	赤外LD（1300 nm）	赤外LD（1300 nm）	赤外LD（1300 nm）	赤外LD（1300 nm）
スポットサイズ	約φ60 μm	約φ60 μm	約φ60 μm	約φ60 μm
ワーキングディスタンス ^*6	155 mm	155 mm	155 mm	155 mm
測定可能層数	最大1層	最大1層	最大10層	最大10層
解析	ピーク検出	ピーク検出	ピーク検出	ピーク検出
計測時間	16.7 ms/point	22.2 ms/point	16.7 ms/point	22.2 ms/point
外部通信インターフェース	RS-232C、PIPE	RS-232C、PIPE	RS-232C、 Ethernet	RS-232C、 Ethernet
インターフェース	USB 2.0 （本体 - PC間）	USB 2.0 （本体 - PC間）	USB 2.0 （本体 - PC間）	USB 2.0 （本体 - PC間）
電源電圧	AC100 V ～ AC240 V、50 Hz/60 Hz	AC100 V ～ AC240 V、50 Hz/60 Hz	AC100 V ～ AC240 V、50 Hz/60 Hz	AC100 V ～ AC240 V、50 Hz/60 Hz
消費電力	約50 VA	約50 VA	約50 VA	約50 VA
ライトガイドコネクタ形状	FC	FC	FC	FC

*1 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
*2 シリコンの屈折率を3.67で換算した場合。
*3 SiO2測定時の標準偏差。
*4 シリコン測定時の標準偏差。
*5 シリコン測定時。
*6 ワーキングディスタンスが1000 mmのタイプも用意しています。

外形寸法図

c11011 外形寸法図

a8653-02 外形寸法図

弊社内のデモルームにて、専門エンジニアと共に、国内外のお客様との共同研究やサンプルをお預かりしての実験、購入前の実機検討などに幅広くご利用いただけます。

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