Optical NanoGauge 膜厚計

C13027-11

C13027は、分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。シーケンサ接続が可能なうえ、装置組み込みを容易にするために、従来製品に比べ小型化を実現しました。10 nm~100 μmと幅広い膜厚測定範囲の対象に適応します。さらに、最速200 Hzの高速測定も可能なため、高速ラインでの測定にも対応することができます。

特長

  • シーケンサ接続に対応
  • タクトタイムを短縮(最速200 Hz)
  • 極薄膜測定に対応(ガラス:10 nm~、シリコン:4.3  nm~)
  • 小型化
  • 広波長対応(400 nm~1100 nm)
  • ソフトウエアに簡易計測を搭載
  • 両面解析が可能
  • 高さ変動に強い
  • 光学定数(n、k)解析
  • マッピングに対応 (オプション)

仕様

型名 C13027-11
測定膜厚範囲 (ガラス) 10 nm~100 μm*1
測定膜厚範囲 (シリコン) 4.3 nm~43 μm*2
測定再現性 (ガラス) 0.02 nm*3 *4
測定再現性 (シリコン) 1 nm*5
測定精度  ±0.4 %*4 *6
光源 ハロゲン光源
測定波長範囲 400 nm~1100 nm
スポットサイズ 約φ1 mm*4
ワーキングディスタンス 10 mm*4
測定可能層数 最大10層
解析 FFT解析、フィッティング解析、光学定数解析
計測時間 3 ms/point*7
外部通信インターフェース RS-232C、Ethernet
出力信号 アナログ出力 : 0 V ~ 10 V/ハイインピーダンス 3チャンネル(最大3層)
アラーム出力 : TTL/ハイインピーダンス 1チャンネル
ワーニング出力 : TTL/ハイインピーダンス 1チャンネル
入力信号 計測開始信号 : TTL/ハイインピーダンス 1チャンネル
電源電圧 AC100 V~AC240 V、50 Hz/60 Hz
消費電力 約80 VA
ライトガイドコネクタ形状 FC

*1 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
*2 シリコンの屈折率を3.67で換算した場合。
*3 400 nmのSiO2測定時の標準偏差。
*4 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
*5 30 μmのエタロン測定時の標準偏差。
*6 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
*7 最短露光時間。

外形寸法図

c13027 外形寸法図

 

 

2分岐ライトガイド 外形寸法図

a10192-10 外形寸法図

 

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