ミニ分光器

C16767MA

指先大の高感度・超小型分光器ヘッド

 

ミニ分光器 C16767MAは、高感度で超小型 (指先大)の分光器ヘッドです。C16767MAは紫外域 (190~440 nm)に対応しています。本製品は、各種小型装置への組み込みに適しています。


■特長
・指先大サイズ: 20.1 × 12.5 × 10.1 mm
・質量: 5 g
・感度波長範囲: 190 ~ 440 nm
・高感度
・波長分解能: 8 nm max.
・同期蓄積 (電子シャッタ機能)対応
・モバイル測定機器への組み込み用
・波長変換係数を検査成績書に添付

 

用途例

水質分析 

大気分析 (NO、SO2 など)

UV-LEDやUV-A、UV-B、UV-Cのモニタ

半導体プロセスモニタ (プラズマ、ガス等)

特長

エッチング技術によりスリットを一体化したCMOSイメージセンサに加えて、ナノインプリントで作製された反射型凹面グレーティングを採用したミニ分光器マイクロシリーズの新ラインアップです。

C16767MAでは、UV耐性を高めたイメージセンサやUVの分光に最適化した回折格子を搭載しています。

また、分光時に生じる迷光のイメージセンサへの入射を抑えるために、独自の光半導体素子の製造技術を応用した迷光カットフィルターをイメージセンサ上に形成しています。

構造図

光入射角面 (チップ裏面)

測定例

左図は、水質の一般的な検査項目である硝酸、亜硝酸、BOD (有機汚染物質)の測定例です。ミニ分光器 C16767MAを用いたデモ用モジュールでの測定において、良好な結果が得られていることが分かります。
また、有機化合物のアントラセンの測定 (中図・右図)では、卓上サイズの分光光度計と同等の結果が得られたことが分かります。

硝酸、亜硝酸、BOD (C16767MAにて測定)

LEDのスペクトル

アントラセン (C16767MAにて測定)

LEDのスペクトル

【参考】アントラセン (分光光度計にて測定)

キニーネ溶液のスペクトル

仕様

感度波長範囲 190~440 nm
波長分解能 (半値幅) typ. 5.5 nm
波長分解能 (半値幅) max. 8 nm
冷却 非冷却
内蔵素子 スリット付高感度CMOSリニアイメージセンサ
総画素数 288 pixels
測定条件 指定のない場合はTyp. Ta=25 ℃

外形寸法図 (単位: mm)

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