IQEについて | ODPL測定装置

「IQE」は品質評価のパラメーター

半導体結晶には、外部から励起光を受けると発光する性質(フォトルミネッセンス)があります。IQEは、 この発光の効率を表すパラメータとなり、その値は転位や欠陥、不純物により敏感に変化します。そのため、半導体材料の品質の指標として利用できると期待されています。

ODPL測定装置 原理図2

GaNの結晶格子

ODPL測定装置 原理図1

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