Dual PHEMOS-X エミッション顕微鏡

C16506-01

一台で両面からの故障解析が可能に。

Dual PHEMOS-Xは、半導体のウェーハやダイの状態で、両面(表面及び裏面)からの故障解析が求められる先端3次元デバイスにおいて、各種解析が可能な高解像度エミッション顕微鏡です。

特長

両面からの解析が可能

半導体デバイスを他の解析システムへと移動させることなく、表側と裏側の故障解析を簡単に切り替えることができます。

様々なサンプルへの対応が可能な光学ステージを搭載

光学ステージの可動範囲

  X Y Z
表側 40 mm 40 mm 80 mm
裏側 60 mm 60 mm 20 mm

※ 使用するプローバおよびサンプルステージとの干渉、NanoLensの追加によりこの値より小さくなることがあります。

様々な機能を持ったサンプルステージ (セミオートプローバ MPd-1000X C16688-01)

主な機能

• XYステージコントロール

• Z、θ(シータ)コントロール

X 300 mm
Y 300 mm
Z 22.5 mm
θ +/- 5°

• ウェーハ マッピングコントロール

• アライメント機能

• 表側のPCと裏側のPCはLAN経由でプローバPCと接続

基本表示機能

スーパーインポーズ・コントラストエンハンスメント機能

基本表示機能

※ソフトウエアのバージョンやお使いの環境等により、実際の画面とは異なる場合があります。

スーパーインポーズ機能により、高解像度のパターン像に検出した信号像を重ね合わせて表示し、容易に不良箇所を特定することができます。

また、コントラストエンハンスメント機能により、低コントラスト像を明確な画像に改善することが可能です。

 

表示機能

  • アノテーション:コメント、矢印、その他の表示を画像上の任意の位置に表示します。
  • スケール表示:画像上にスケール幅を線分で表示します。
  • グリッド表示:画像上に縦横方向に等間隔のグリッド線を表示します。
  • サムネイル表示:サムネイル化した画像を蓄積保存することができ、また元の画像に再生することが可能です。
  • マルチ画面表示:6 画面にパターン像、発光像、スーパーインポーズ像および参照画像を一度に表示できます。

仕様

外形寸法/質量

本体 : 1900 mm (W) × 2130 mm (H) × 1350 mm (D) 、約 2200 kg

システムラック : 1060 mm (W) × 1841.5 mm (H) × 715 mm (D) 、約 200 kg

プローバラック : 1000 mm (W) × 1800 mm (H) × 650 mm (D) 、約 400 kg

電源 単相 AC200 V、AC220 V 50 Hz/60 Hz
消費電力 約 3300 VA (システムラック) / 約 6600 VA (プローバラック)
真空源 80 kPa以上
圧縮空気※1 0.5 MPa ~ 0.7 MPa

※1  レギュレータは本体付属

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