真空紫外光源ユニット

L12542

高安定・長寿命に加えて、広角な配光特性を誇る大面積照射モデルです。

VUV Ionizerのラインアップのなかで高い汎用性を有しており、幅広い業界において導入実績があります。大型対象物や複数対象物に対する一括除電に有効です。

仕様

項目 内容・値 単位
窓材質 MgF2
発光波長範囲 115 ~ 400 nm
予熱時間 25 ±5 s
光出力安定性 フラツキ(p-p) Max. 0.05 %
ドリフト Max. ±0.3 %/h
ランプ保証寿命 (*1) 2000 h
リプレイスランプ(別売) L12565
真空フランジ - (*2)
気密方法 Oリング
リーク量 1 x 10-10 Pa m3/s (*3)
入力電圧(AC) 100 V ~ 240 V、単相 50 Hz / 60 Hz
消費電力 Max. 90 VA
光源部冷却方式 冷却ファンによる強制空冷
動作温度範囲 +10 ~ +40
保存温度範囲 0 ~ +60
動作湿度範囲 80 %以下(結露なきこと)
保存湿度範囲 85 %以下(結露なきこと)
外部制御 点灯制御、点灯信号、各種エラー信号

*1: 寿命の定義は230 nmでの光出力が初期値の50 %に低下した時点、または光出力安定性が仕様のMax.の値を超えた時点としています。光出力の減衰は真空装置の環境に大きく左右されます。

*2: 関連製品にて記載の真空フランジが使用可能です。装置への取り付けについては、必要に応じてお問合せください。

*3: Heリークディテクタで確認した結果です。

特性

除電性能(代表値)

除電時間 - 距離

除電時間 - 真空度

配光特性(代表値)

照射範囲(代表値)

装置取付例

外形寸法図 (単位:mm)

光源部(質量:約530 g)

電源部(質量:約1.8 kg)

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