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応用例 | レーザ励起プラズマ光源 LDLS

紫外~可視~近赤外分光測定

光学製品の評価(フィルタ・レンズ)

材料評価(プラスチック・宝石)

応用分野:半導体検査

 

半導体の検査においては、ウェハ上のパターンや膜厚検査工程の時間短縮ならびに精度向上に向け、高輝度な紫外線領域の光源が求められています。さらに、今後のプロセス微細化に向け、さらなる短波長化の要求も高まっています。これらの要求に応える光源として、優れた輝度と波長範囲、寿命特性を持つLDLSは最適な1台です。
また、浜松ホトニクスとEnergetiq社では、LDLSのほかにも、極紫外線(EUV)光源やキセノンランプなどをラインアップしており、半導体検査装置市場からの要求に幅広いラインアップの光源で対応します。

 

  • 膜厚測定
  • 基板コーティング検査
  • デポジション測定

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