真空紫外光源ユニット

L10706

SUSフレキシブル管と独自冷却機構による専用設計で、真空チャンバ内への設置を可能にする近接照射モデルです。

コンパクト設計で装置内における取り回しの自由度を高めることで、ピンポイントでの静電気除去が求められる用途に適した仕様になっています。

仕様

項目 内容・値 単位
窓材質 MgF2
発光波長範囲 115 ~ 400 nm
予熱時間 25 ±5 s
光出力安定性 フラツキ(p-p) Max. 0.05 %
ドリフト Max. ±0.3 %/h
ランプ保証寿命 (*1) 1000 h
リプレイスランプ(別売) L10706D
真空フランジ ICF70
気密方法 Cuガスケット
リーク量 1 x 10-10 Pa m3/s (*2)
入力電圧(AC) 100 V ~ 240 V、単相 50 Hz / 60 Hz (*3)
消費電力 Max. 40 VA
光源部冷却方式 高圧エアーによる強制空冷 (*4)
動作温度範囲 +10 ~ +35
保存温度範囲 -10 ~ +60
動作湿度範囲 80 %以下(結露なきこと)
保存湿度範囲 80 %以下(結露なきこと)
外部制御 点灯制御、点灯信号、各種エラー信号

*1: 寿命の定義は230 nmでの光出力が初期値の50 %に低下した時点、または光出力安定性が仕様のMax.の値を超えた時点としています。光出力の減衰は真空装置の環境に大きく左右されます。

*2: Heリークディテクタで確認した結果です。

*3: L10706(電源部)のDCジャックへの入力はDC 12 V(DC 10.8 V ~ 13.2 V、17 W以下)です。

*4: 流量 20 L/min ~ 30 L/minにて、高圧チューブより導入してください。

特性

除電性能(代表値)

除電時間 - 距離

除電時間 - 真空度

配光特性(代表値)

照射範囲(代表値)

装置取付例

外形寸法図 (単位:mm)

光源部

電源部(質量:約120 g)

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