真空紫外光源ユニット

L12542

真空紫外光を利用した静電気除去装置です。弊社従来品に比べ、約3倍の広角照射を実現し、減圧下での広い面積の除電が可能となりました。従来品は照射角度の制限により、広い面積の除電には複数台必要であった問題を解消しました。

特長と応用例

特長

  • 大面積照射
  • 減圧下での高いイオン生成能力
  • 送風が不要
  • 逆帯電がない
  • 塵・電磁ノイズの発生「0」
  • 長寿命

応用例

  • 静電チャックのデチャック
  • 半導体製造装置(真空プロセス)
  • 液晶製造装置
  • 有機EL製造装置
  • ハードディスク製造装置
  • フィルム製造装置

除電効果

除電時間-距離

 

 

除電時間-真空度

 

 

仕様

一般定格

項目 内容・値 単位
発光波長範囲 115~400 nm
窓材質 MgF2
冷却方式 冷却ファンによる空冷
動作温度範囲 +10~+40
保存温度範囲 0~+60
動作湿度範囲 80%以下(結露しないこと)
保存湿度範囲 85%以下(結露しないこと)

標準動作条件および特性(at 25℃)

項目 内容・値 単位
予熱時間 25±5
光源部寿命 2000 h
入力電圧(AC) 100 V~240 V(100 V/200 V 自動切替)、 単相 50 Hz/60 Hz
消費電力(Max.) 90 VA

①寿命の定義は230 nmでの光出力が初期値の50 %に低下した時点としています。光出力の減衰は真空装置の環境に大きく左右されます。
※リプレイス光源についてはL12565をご指定ください。

発光スペクトル分布

 

 

配光特性

 

 

外形寸法図 (単位:mm)

光源部 (質量: 約530 g)

電源部 (質量: 約1.8 kg)

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