iPHEMOS®-DDX 倒立型エミッション顕微鏡

C18040-11

3方向からテスターダイレクトドッキングが可能。7つの解析手法に対応するマルチプラットフォーム

iPHEMOS-DDX は、AI チップレットやHBMをはじめとする2.5D/3D パッケージや大型半導体パッケージの故障解析に対応した倒立型エミッション顕微鏡です。3方向からのダイレクトドッキングにより、テスター中心のEFA 環境を迅速に構築できます。

さらに、低温・高安定設計による低ドリフト性能と、発光/発熱解析をはじめとする複数の解析手法を統合したプラットフォームにより、1台でStatic/Dynamic 故障解析に対応し、解析フローの効率化と解析時間の短縮に貢献します。

 

iPHEMOSは、浜松ホトニクス株式会社の登録商標です。

特長

柔軟なドッキング構造

3方向からテスターとダイレクトドッキングできる構造を採用しています。テスターを中心としたEFA ( 故障解析) 環境を迅速に構築でき、ラボのレイアウトの柔軟性やセットアップ工数の削減に貢献します。

先進半導体パッケージ解析

AIチップレット、HBMスタック、インターポーザや積層ダイ構造を採用した先進半導体パッケージに対応し、テスターとダイレクトドッキングした状態で故障箇所を高精度に特定します。

高安定性設計により、常温・低温環境における温度ドリフトや振動を抑制し、大型かつ熱に敏感な半導体パッケージの長時間安定解析を実現します。

マルチアプリケーション解析プラットフォーム

PEM、Thermal/LIT、LSM、OBIRCH、DALS、EOP/EOFM、TD Imaging など7つの解析手法を統合したプラットフォームにより、FAワークフローを1 台で実施できます。

※Solid Cold® Emmi-Xカメラに対応しています。その他のプラットフォームについてはお問い合わせください。

先進デバイスに対応した高精度ステージ

光学ステージの可動範囲

X 60 mm
Y 60 mm
Z 20 mm

※使用するプローバおよびサンプルステージとの干渉、NanoLensの追加によりこの値より小さくなることがあります。

基本表示機能

スーパーインポーズ・コントラストエンハンスメント機能

基本表示機能

※ソフトウェアのバージョンやお使いの環境等により、実際の画面とは異なる場合があります。

スーパーインポーズ機能により、高解像度のパターン像に検出した信号像を重ね合わせて表示し、容易に不良箇所を特定することができます。また、コントラストエンハンスメント機能により、低コントラスト像を明確な画像に改善することが可能です。

 

表示機能

  • アノテーション:コメント、矢印、その他の表示を画像上の任意の位置に表示します。
  • スケール表示:画像上にスケール幅を線分で表示します。
  • グリッド表示:画像上に縦横方向に等間隔のグリッド線を表示します。
  • サムネイル表示:サムネイル化した画像を蓄積保存することができ、また元の画像に再生することが可能です。
  • マルチ画面表示:6 画面にパターン像、発光像、スーパーインポーズ像および参照画像を一度に表示できます。

 

TD Imaging

TD Imaging(オプション)はロジック半導体など複雑な構造をもつ半導体の欠陥の特定に適した技術です。内部に金属製のパーツが含まれている半導体の欠陥も、ピンポイントに検出することができます。

特長説明画像

Solid Cold® Emmi-X カメラ

Solid Cold Emmi-X カメラは、Solid Cold冷却 (リニア冷却方式)を採用した発光解析用カメラです。LN₂を使用する従来システムと比較して、高い安定性と優れたメンテナンス性を提供します。広視野および高S/Nセンサに加え、高速波長切り替え機構を組み合わせることで、微弱発光検出が可能です。先端ロジックおよび高密度メモリデバイスの解析において、高い稼働率と効率的な解析を実現します。

仕様

外形寸法/質量

本体:1350 mm (W) × 950 mm (H) × 1350 mm (D)*1、約1620 kg

システムラック:1230 mm (W) × 2252 mm (H) × 790 mm (D)*2、約420 kg
制御デスク*3:1000 mm (W) × 700 mm (H) × 800 mm (D)、約 39.2 kg (C16216-01 オペレーションデスク) / 1480 mm (W) × 700 mm (H) × 800 mm (D)、約 48.6 kg (C16216-02 オペレーションデスク)

電源 単相 AC200 V ~ AC240 V
消費電力 約 3300 VA
圧縮空気*4 0.5 MPa ~ 0.7 MPa

*1:連結部分を含まない
*2:ライトタワーを含む
*3:オプション
*4:レギュレータは本体付属                 

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