SEMICONDUCTOR APPLICATION LAB.は、お客様との共創を目的とした実験室です。専門エンジニアの立ち合いのもと行う実機デモ、サンプルお預かりデモなど購入前の実機検討のためのデモはもちろん、当社装置の応用的な使い方のトライアルや共同研究の場としてもご利用いただけます。

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Solid Cold Emmi-X カメラ | 半導体故障解析装置

Solid Cold® Emmi-X カメラ

LN₂不要 ー 24 時間安定した発光解析を実現

Solid Cold Emmi-X カメラは、Solid Cold冷却 (リニア冷却方式)を採用した発光解析用カメラです。LN₂を使用する従来システムと比較して、高い安定性と優れたメンテナンス性を提供します。広視野および高S/Nセンサに加え、高速波長切り替え機構を組み合わせることで、微弱発光検出が可能です。先端ロジックおよび高密度メモリデバイスの解析において、高い稼働率と効率的な解析を実現します。

 

Solid Coldは、浜松ホトニクス株式会社の登録商標です。

特長

高い安定性を実現する冷却機構と優れたメンテナンス性

  • MTTF (平均故障時間)90 000 時間の高信頼設計
  • Solid Cold冷却により24 時間連続駆動が可能

広視野・高S/Nによる微弱発光検出

  • 1k × 1kセンサでの広視野観察
  • 特許出願技術によるノイズ低減

高速波長切り替えと高精度位置制御

  • わずか5 秒で波長切り替えが可能
  • 1 軸フィルタかつギアレス構造により高い位置精度を実現

Solid Cold冷却

  • リニアモーターによる非接触駆動
  • 長寿命 (MTTF: 90 000時間)

測定例

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SEMICONDUCTOR APPLICATION LAB.の紹介

SEMICONDUCTOR APPLICATION LAB.(静岡県浜松市 常光製作所内)は、お客様との共創を目的とした実験室です。弊社の専門エンジニアと共に、国内外のお客様との共同研究やサンプルをお預かりしての実験、購入前の実機検討などに幅広くご利用いただけます。また、実施後にお客様の検査・解析環境整備、検査・解析の最適条件・レシピの提案などもいたします。施設にお越しいただいてのご利用だけでなく、ビデオ通話でのリモート実験なども承ります。

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