SEMICONDUCTOR APPLICATION LAB.は、お客様との共創を目的とした実験室です。専門エンジニアの立ち合いのもと行う実機デモ、サンプルお預かりデモなど購入前の実機検討のためのデモはもちろん、当社装置の応用的な使い方のトライアルや共同研究の場としてもご利用いただけます。

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Sequencerソフトウエア | 半導体故障解析装置

Sequencerソフトウエア

ウェーハレベルでの自動故障解析を実現

Sequencerソフトウエアは、ウェーハレベルでの自動故障解析を実現するソフトウェアです。手動EFAでは、ウェーハ全体のダイ比較に時間がかかってしまい、解析できるダイの数が制限されます。Sequencerソフトウエアにより自動でダイ間解析を実現し、ウェーハ全体の不良傾向を可視化します。

ダイ間の解析スループットを向上

手動解析ではデータ収集に時間がかかることが多く、少数のダイであっても画像取得に数時間を要する場合があります。当社の半導体故障解析装置にSequencerソフトウエアを搭載することで自動でのダイ間解析を実現します。マクロレンズ使用時には24 時間以内に最大720 diesの測定が可能で、従来比9倍のスループットを達成します。

ウェーハレベルで故障を特定、ダイの解析まで自動化

1. マクロレンズで自動ダイ間解析を実行

2. 欠陥箇所を自動抽出し、拡大して詳細な解析を実行

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SEMICONDUCTOR APPLICATION LAB.の紹介

SEMICONDUCTOR APPLICATION LAB.(静岡県浜松市 常光製作所内)は、お客様との共創を目的とした実験室です。弊社の専門エンジニアと共に、国内外のお客様との共同研究やサンプルをお預かりしての実験、購入前の実機検討などに幅広くご利用いただけます。また、実施後にお客様の検査・解析環境整備、検査・解析の最適条件・レシピの提案などもいたします。施設にお越しいただいてのご利用だけでなく、ビデオ通話でのリモート実験なども承ります。

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