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ステルスダイシングエンジン™システム

L9570 series

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ステルスダイシング™技術は、浜松ホトニクスが開発した、「レーザを用いた全く新しいダイシング技術」です。浜松ホトニクスがこれまで世に送り出してきたレーザ加工装置やIC薄膜除去装置などで培ってきたレーザ技術、光学系技術の集大成ともいえるのがステルスダイシング™技術であり、この技術をダイシング装置搭載用にユニット化したものがステルスダイシングエンジン™システムです。

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説明動画

ステルスダイシングエンジン™の特長に関する動画説明です。

アライアンス・パートナー

SDアライアンスパートナーズとは

当社のステルスダイシング™技術に関する特許ポートフォーリオを包括的にライセンスしている業務提携先であるシステムインテグレーターを指します。

弊社は、ステルスダイシング™技術に関し、日本特許約160件、米国特許約110件、韓国特許約70件、台湾特許約60件、中国特許約90件等に加えて多数の国における審査段階の出願発明からなる総計約600件の特許ポートフォーリオを有しており、複数のSDアライアンスパートナーズに対し、ステルスダイシング™技術に関する弊社特許ポートフォーリオをステルスダイシングエンジン™のOEM供給に付随して、包括的にライセンスしています。当該ライセンス対象には半導体やLED等の製造に関わる製造方法が含まれます。 ステルスダイシング™技術を利用して半導体装置やLED等の製造を行う場合は、以下に代表されるSDアライアンスパートナーズにより製造されたレーザーダイシング装置をご使用されることを推奨いたします。

非ライセンス企業(SDアライアンスパートナーズ以外のシステムインテグレーター)のシステムインテグレーターのレーザーダイシング装置を使用して弊社特許ポートフォーリオのいずれかの権利範囲に含まれる製造方法を実施することは無許可の特許実施行為に該当し、違法行為となります。非ライセンス企業のレーザーダイシング装置は、当該装置を使用することによるエンドユーザ様の違法行為を導くことになりますので、ご注意いただきたいと存じます。

レーザーダイシング装置メーカーが弊社特許ポートフォーリオの包括ライセンスを受けているか否か不明な場合はお問い合わせください。尚、基本的に弊社は、ステルスダイシング™技術に関しては、非独占的なライセンシング契約の形式をとっております。

SD alliance

平成29年9月18日をもちまして、株式会社東京精密との提携関係は終了いたしました。

ステルスダイシング™WEBサイト

ステルスダイシング™装置ユーザ対象のWEBを利用した技術支援サービス「ステルスダイシングWEBサイト」

ステルスダイシング™(SD)の技術情報をWEB サイトにて公開しています(英語・日本語)。また、ステルスダイシング™装置ユーザに限定して、各々のデバイスに適したダイシング時の加工レシピをWEB サイト上で情報提供するサービスも実施中です。

このサービスをご利用いただくことで、新しい対象デバイスのダイシング要求が生じても、簡単に新しい加工レシピを導き出すことができ、作業者の加工レシピ開発の効率化を支援します。同技術を開発する過程で蓄積した加工に関する多くのノウハウは全てデータベース化されており、ウェーハの厚さや構造、チップサイズなど、各デバイスに適した加工レシピを専用WEBサイト経由で提供することが可能になります。

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