Optical NanoGauge 膜厚計 C13027-11

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Ｃ13027は、分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。シーケンサ接続が可能なうえ、装置組み込みを容易にするために、従来製品に比べ小型化を実現しました。Optical Gaugeシリーズでは最も薄い10 nmの極薄膜測定に対応することができます。また、10 nm～100 μmと幅広い膜厚測定範囲の対象に適応します。さらに、最速200 Hzの高速測定も可能なため、高速ラインでの測定にも対応することができます。

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特長
仕様
外形寸法図

特長

シーケンサ接続に対応
タクトタイムを短縮（最速200 Hz）
極薄膜測定に対応（ガラス：10 nm～、シリコン：4.3 nm～）
小型化
広波長対応（400 nm～1100 nm）
ソフトウエアに簡易計測を搭載
両面解析が可能
高さ変動に強い
光学定数（n、k）解析
マッピングに対応 (オプション)

仕様

型名	C13027-11
測定膜厚範囲（ガラス）	10 nm～100 μm^*1
測定膜厚範囲（シリコン）	4.3 nm～43 μm^*2
測定再現性（ガラス）	0.02 nm^{3 4}
測定再現性（シリコン）	1 nm^*5
測定精度	±0.4 ％^{4 6}
光源	ハロゲン光源
測定波長範囲	400 nm～1100 nm
スポットサイズ	約φ1 mm^*4
ワーキングディスタンス	10 mm^*4
測定可能層数	最大10層
解析	FFT解析、フィッティング解析、光学定数解析
計測時間	3 ms/point^*7
外部通信インターフェース	RS-232C、Ethernet
出力信号	アナログ出力 : 0 V ～ 10 V/ハイインピーダンス　3チャンネル（最大3層）アラーム出力 : TTL/ハイインピーダンス　1チャンネルワーニング出力 : TTL/ハイインピーダンス　1チャンネル
入力信号	計測開始信号 : TTL/ハイインピーダンス　1チャンネル
電源電圧	AC100 V～AC240 V、50 Hz/60 Hz
消費電力	約80 VA
ライトガイドコネクタ形状	FC

*1 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
*2 シリコンの屈折率を3.67で換算した場合。
*3 400 nmのSiO₂測定時の標準偏差。
*4 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
*5 30 μmのエタロン測定時の標準偏差。
*6 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
*7 最短露光時間。