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Optical NanoGauge 膜厚計

C13027-11

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C13027は、分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。シーケンサ接続や膜厚と色の同時計測機能に加え、装置組み込みを容易にするために、従来製品に比べ小型化を実現しました。Optical Gaugeシリーズでは最 も薄い10 nmの極薄膜測定に対応することができます。また、10 nm~100 μmと幅広い膜厚測定範囲の対象に適応します。さらに、最速200 Hzの高速測定も可能なため、高速ラインでの測定にも対応することができます。

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特長

  • シーケンサ接続に対応
  • タクトタイムを短縮(最速200 Hz)
  • 10 nmの薄膜測定に対応
  • 膜厚と色の同時計測可能
  • 小型化(設置面積30 %減 : C12562と比較)
  • 広波長対応(400 nm~1100 nm)
  • ソフトウエアに簡易計測を搭載
  • 両面解析が可能
  • 高さ変動に強い
  • 光学定数(n、k)解析
  • マッピングに対応

仕様

型名 C13027-11
測定膜厚範囲 (ガラス) 10 nm~100 μm*1
測定再現性 (ガラス) 0.02 nm*2 *3
測定精度 (ガラス) ±0.4 %*3 *4
光源 ハロゲン光源
測定波長範囲 400 nm~1100 nm
スポットサイズ 約φ1 mm*3
ワーキングディスタンス 10 mm*3
測定可能層数 最大10層
解析 FFT解析、フィッティング解析、光学定数解析、色解析
計測時間 3 ms/point*5
ライトガイドコネクタ形状 FC
外部通信機能 RS-232C、Ethernet
電源 AC100 V~240 V、50 Hz/60 Hz
消費電力 約80 VA
出力信号:アナログ出力  0 V~10 V / ハイインピーダンス 1チャンネル
     アラーム出力  TTL / ハイインピーダンス 1チャンネル
     ラーニング出力 TTL / ハイインピーダンス 1チャンネル
入力信号:計測開始信号  TTL / ハイインピーダンス 1チャンネル

*1 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
*2 400 nm厚さのガラス膜測定時の標準偏差。
*3 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
*4 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
*5 最短露光時間。

外形寸法図

c13027 外形寸法図

 

 

2分岐ライトガイド 外形寸法図

a10192-10 外形寸法図

 

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