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Multipoint NanoGauge 膜厚計

C11295

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C11295は、分光干渉法を利用した膜厚測定装置です。半導体製造工程における膜厚測定をはじめ、半導体製造装置へ搭載するAPCやフィルムの品質管理のために膜厚の測定をする装置です。リアルタイムでのマルチポイント計測が可能で、多チャンバ同時計測やフィルム面上の多点計測を実現します。また、膜厚と同時に反射率(透過率)・物体色、それらの経時変化も測定することができます。

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特長

  • 最大15ポイントを同時計測
  • リファレンスフリー
  • 光量変動補正による長時間安定測定
  • アラーム・ワーニング機能(合否判定)
  • 反射(透過)・スペクトル測定
  • 高速・高精度解析
  • リアルタイム測定
  • 高さ変動に強い
  • 光学定数(n、k)解析
  • 外部機器から制御

仕様

型名 C11295-XX*1
測定膜厚範囲 (ガラス) 20 nm~100 μm*2
測定再現性 (ガラス) 0.02 nm*3 *4
測定精度 (ガラス) ±0.4 %*4 *5
光源 Xe光源*6
測定波長範囲 320 nm~1000 nm
スポットサイズ 約φ1 mm*4
ワーキングディスタンス 10 mm*4
測定可能層数 最大10層
解析 FFT解析、フィッティング解析
計測時間 19 ms/point*7
ライトガイドコネクタ形状 SMA
計測ポイント数 2点~15点
外部通信機能 Ethernet
インターフェース USB 2.0(本体-PC間)、RS232C(ランプ-PC間)
電源 AC100V~240V、50 Hz/60 Hz
消費電力 2ch時:約330 VA、 15ch時:約450 VA
*1 -XXは、計測ポイント数を示す。
*2 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
*3 400 nm厚さのガラス膜測定時の標準偏差。
*4 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
*5 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
*6 ハロゲン光源モデルは、C11295-XXHとなります。
*7 最短露光時間。

外形寸法図

c11295 外形寸法図

 

 

光源ライトガイド 外形寸法図

計測ライトガイド 外形寸法図

 

 

Xe光源 外形寸法図

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