Multipoint NanoGauge 膜厚計 C11295

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C11295は、分光干渉法を利用した膜厚測定装置です。半導体製造工程における膜厚測定をはじめ、半導体製造装置へ搭載するAPCやフィルムの品質管理のために膜厚の測定をする装置です。リアルタイムでのマルチポイント計測が可能で、多チャンバ同時計測やフィルム面上の多点計測を実現します。また、膜厚と同時に反射率(透過率)・物体色、それらの経時変化も測定することができます。

特長
仕様
外形寸法図

特長

最大15ポイントを同時計測
リファレンスフリー
光量変動補正による長時間安定測定
アラーム・ワーニング機能（合否判定）
反射（透過）・スペクトル測定
高速・高精度解析
リアルタイム測定
高さ変動に強い
光学定数（n、k）解析
外部機器から制御

仕様

型名	C11295-XX^*1
測定膜厚範囲（ガラス）	20 nm～100 μm^*2
測定再現性（ガラス）	0.02 nm^{3 4}
測定精度（ガラス）	±0.4 ％^{4 5}
光源	キセノンランプ光源^*6
測定波長範囲	320 nm～1000 nm
スポットサイズ	約φ1 mm^*4
ワーキングディスタンス	10 mm^*4
測定可能層数	最大10層
解析	FFT解析、フィッティング解析
計測時間	19 ms/point^*7
ライトガイドコネクタ形状	SMA
計測ポイント数	2点～15点
外部通信機能	Ethernet
インターフェース	USB 2.0（本体-PC間）、RS232C（ランプ-PC間）
電源	AC100 V～AC240 V、50 Hz/60 Hz
消費電力	2ch時：約350 VA、 15ch時：約500 VA

*1 -XXは、計測ポイント数を示す。
*2 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
*3 400 nm厚さのガラス膜測定時の標準偏差。
*4 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
*5 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
*6 ハロゲン光源モデルは、C11295-XXHとなります。
*7 最短露光時間。