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Optical NanoGauge 膜厚計

C12562-03

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C12562は、関連装置への組み込みを前提に設計された非接触の膜厚測定装置です。半導体市場では貫通電極技術の採用によりシリコン厚の測定が重要視され、フィルム市場では接着層の薄膜化が進み、共に1 μm~300 μmの範囲での高精度な厚み測定が必要とされています。C12562の測定範囲は、500 nm~300 μmと幅広く、薄膜塗工厚からフィルム基板厚、さらには総厚まで測定可能です。また、最高100 Hzの高速測定も可能なため、高速ラインでの測定にも対応します。

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特長

  • 薄膜から総厚までの測定に対応
  • タクトタイムを短縮(最速100 Hz)
  • 外部トリガを充実(高速測定に対応)
  • ソフトウエアに簡易計測を搭載
  • 両面解析が可能
  • 高さ変動に強い
  • 光学定数(n、k)解析
  • 外部機器から制御

仕様

型名 C12562-03
測定膜厚範囲 (ガラス) 500 nm~300 μm*1
測定再現性 (ガラス) 0.02 nm*2 *3
測定精度 (ガラス) ±0.4 %*3 *4
光源 ハロゲン光源
スポットサイズ 約φ1 mm*3
ワーキングディスタンス 10 mm*3
測定可能層数 最大10層
解析 FFT解析、フィッティング解析、光学定数解析
計測時間 3 ms/point*5
ライトガイドコネクタ形状 FC
外部通信機能 RS-232C、Ethernet
電源 AC100 V~240 V、50 Hz/60 Hz
消費電力 約80 VA
*1 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
*2 400 nm厚さのガラス膜測定時の標準偏差。
*3 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
*4 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
*5 最短露光時間。

外形寸法図

c12562 外形寸法図

 

 

2分岐ライトガイド 外形寸法図

a10192-04 外形寸法図

 

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