電子顕微鏡

集束イオンビーム加工観察装置(FIB-SEM)

FIB-SEM(集束イオンビーム走査電子顕微鏡)は、集束イオンビーム(FIB)と走査電子顕微鏡(SEM)を組み合わせた装置です。 FIBは試料の表面を精密に加工し、SEMは高解像度の画像を提供します。この組み合わせにより、試料の内部構造を詳細に観察することが可能です。 FIB-SEMは、半導体、材料科学、生物学などの分野で広く利用されており、TEM(透過電子顕微鏡)用薄膜試料の作成やSEM(走査電子顕微鏡)用断面試料の作成、 加工面をそのままEDS分析、結晶方位解析(EBSD)が可能な装置です。

 特に近年活発に開発が行われている3Dデバイスや高機能材料のCut&Seeによる三次元解析にも使用されています。

集束イオンビーム加工観察装置(FIB-SEM)

おすすめ製品

fsパルスレーザエンジン

走査電子顕微鏡(SEM)もしくは複合ビーム加工監察装置(FIB-SEM)に搭載して、SEM観察をしながら高位置精度にて高速且つ大面積加工を実現できる、最適な独自開発光学系と超短パルスレーザと組み合わせたレーザ加工エンジンの開発に取り組んでいます。取り付けに関しては、ご使用の電子顕微鏡メーカー様へご相談ください。

関連特許情報:特開2024-167734、WO2024/018541

加工例(レーザのみの加工)

試料 Cu
加工時間 190 s
加工領域 1,000 μm × 1,000 μm × 52 μm

試料 Ni
加工時間 60 s
加工領域 1,000 μm × 1,000 μm × 57 μm

マイクロジュールクラスの高エネルギーなフェムト秒レーザで、レーザヘッド、コントローラ、空冷システムが一体化されています。高品質なアルミニウムケース内で温度制御された光学部品によって、安定した短パルスレーザを生成します。

チャージアップ除去光源ユニット

試料をそのままの状態で観察することが求められています。試料の前処理が不要で、低真空下での試料の劣化や分析精度の低下を防ぐことが可能なチャージアップ除去光源ユニットをラインアップしています。取り付けに関しては、ご使用の電子顕微鏡メーカー様へご相談ください。

VUVによる帯電除去イメージ

VUVによる帯電除去イメージ

除電有無による検出画像の比較

二次電子検出器用デバイス

二次電子を効率よく取得でき、コレクター電圧を可変して、反射電子も取得できる検出器が求められています。蛍光体から高圧電源まで二次電子検出に必要なデバイスを提案することが可能です。

光電子増倍管(PMT)/MPPCを採用した二次電子検出イメージ

MCPを採用した二次電子検出イメージ

光電子増倍管(PMT)/MPPCを採用した二次電子検出イメージ

MCPを採用した二次電子検出イメージ

バルブ頭部より入射するタイプの光電子増倍管です。ユニフォミティ特性に優れ、SEM用二次電子検出器に最適です。

メタルチャンネルダイノードを内蔵した金属管タイプの光電子増倍管です。高速応答かつ、二次電子検出器の小型化の実現に貢献します。

光電子増倍管と高圧電源回路を内蔵した光電子増倍管モジュールです。真空環境下での使用が可能なため、真空チャンバ内のサンプル近くに設置することができます。

高圧電源、ソケットアッセンブリをはじめとして、光電子増倍管を手軽にかつ、適切に使用できる各種アクセサリをラインアップしています。

フォトンカウンティングレベルの微弱光検出が可能な光半導体素子です。光電子増倍管と比較してサイズが小さいため、電子顕微鏡内の狭いスペースに設置が可能となります。

電子を2次元的に検出し増倍します。センターホールや低真空に対応した製品をラインアップしています。

蛍光体用光学デバイス

電子線検出用の高速応答、ロングライフな高速蛍光体です。数nsオーダーの残光特性を実現しており、二次電子検出器の高速応答に貢献します。

反射電子検出器用デバイス

二次電子検出器並みの応答速度が求められており、加速電圧の影響を受けずに十分な信号量と明瞭な組成コントラストが得られることと、組成由来・表面形状由来の信号を目的に応じて取得できることが求められています。

SEMの反射電子検出用に最適なフォトダイオードです。

フォトンカウンティングレベルの微弱光検出が可能な光半導体素子です。光電子増倍管と比較してサイズが小さいため、電子顕微鏡内の狭いスペースに設置が可能となります。

電子を2次元的に検出し増倍します。センターホールや低真空に対応した製品をラインアップしています。

蛍光体用光学デバイス

電子線検出用の高速応答、ロングライフな高速蛍光体です。数nsオーダーの残光特性を実現しており、二次電子検出器の高速応答に貢献します。

電子線検出モジュール

二次電子検出および反射電子検出における、検出効率等の向上や高速化を目的とした検出器と読み出し回路を、お客様のご要求仕様に合わせて、電子線検出モジュールとして提供します。

電子線検出モジュール_イメージ図

電子線検出モジュールのイメージ図

走査電子顕微鏡(SEM)で活用する高圧電源の紹介

浜松ホトニクスではSEMで使用するシンチレータやコレクタに高電圧を供給可能な高圧電源を提供しています。光電子増倍管(PMT)メーカーとして長年培った技術を生かし、バイポーラ出力や複数電源の一体化など、さまざまな用途に対応した高安定な高圧電源をラインアップしているほか、お客様の要望に応じたカスタム対応も実施しています。

 

高圧電源の詳細はこちら

高圧電源

時間/波長分解測定用分光器

電子線励起や光源励起による位置や波長における光強度の経時変化を高時間分解能で測定するシステムです。

広波長領域において、 超高ダイナミックレンジを有する小型・マルチチャンネルタイプの分光器です。

時間分解能800 fs以下と、極めて短時間のうちに生じる光現象を捉える超高速検出器です。

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