洗浄

パーティクルなどの異物や有機物・酸化膜・金属材料・油脂などの汚れを除去する工程です。

洗浄は成膜工程やエッチング工程などの各工程の前後に必要であり、歩留まり向上や信頼性向上に大きく関わります。

ドライ洗浄

薬液や水を使用しない光によるドライ洗浄です。
有機物の分子結合切断能力に優れており、高い洗浄能力を有しています。また、乾燥工程などが不要であるため、環境負荷低減にも貢献します。

関連製品

平面型ランプの採用により、大面積均一照射可能にしたエキシマランプ光源です。高い洗浄能力に加えて、ダメージレスで粉塵の発生がない高品質な洗浄を可能にします。

低エネルギー電子線を効率的に照射する電子線照射源です。Siウェーハのドライ洗浄やレジスト・誘電体・絶縁層など各種薄膜の特性改善に応用が可能です。

除電

ウェーハなどの搬送時に発生する帯電を除去します。
Photoionization(光イオン化)を利用することにより、塵や電磁ノイズ・オゾンの発生しないクリーンな除電を実現します。

関連製品

大気中において高い除電能力を誇る静電気除去装置です。微弱X線を利用することにより、送風不要での0V除電を実現します。また、塵や電磁ノイズの発生がありません。

従来困難であった真空中に対応した静電気除去装置です。高エネルギー真空紫外線により、高い除電性能を実現します。

アライメント

ウェーハと加工点の位置合わせを行います。
ウェーハとステージの位置がズレることで不良発生やスループット低下に繋がるため、高速かつ高精度なウェーハの位置決めと補正が必要です。

関連製品

縦長画素 (14 × 200 μm)の受光部を採用した高感度CMOSリニアイメージセンサです。紫外域から近赤外域で高感度を実現しています。

LED

電気エネルギーを光エネルギーに変換する半導体素子です。主に受光素子と組み合わせて使用します。赤色から赤外の波長のさまざまなパッケージのLEDを用意しています。

ウェーハ状態チェック

ウェーハの表面異物や内部欠陥の検査を行います。
表面異物検査用可視光デバイスや内部観察用近赤外カメラにより、非破壊・非接触での微小異物や微細欠陥の検査を可能にします。

関連製品

近赤外域に高い感度をもつAPS型CMOSエリアイメージセンサです。画素フォーマットは、SXGA (1280 × 1024画素)で、最大146 frames/sでの撮像が可能です。

高速撮像時などの低照度下においても十分な明るさの画像が得られるTDI-CCDです。TDI動作により、移動する対象物を積分露光することで、感度を飛躍的に向上させました。

近赤外域に感度を有するカメラです。内部を透過撮影することで欠陥やボイド検査を可能にします。

紫外域において高い出力を有する安定性に優れた光源です。紫外域において連続スペクトルを有しており、また分析機器用ランプとして要求される長寿命・高安定・高出力を併せ持っています。

高い輝度・色温度で紫外域から赤外域までの連続スペクトルを有する光源です。弊社独自の高性能陰極の採用により、精密測光用ランプとして幅広く使用されています。 

瞬間的な高いピーク出力を有するパルス点灯光源です。紫外域から赤外域までの連続スペクトルにより、分析からイメージングまで幅広い用途で使用されています。

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