ウェーハ検査

ウェーハ上の異物や欠陥の検査やパターン計測などを行う工程です。

異物・欠陥検査

ウェーハの不良の原因となる異物や欠陥の検査を行います。

半導体デバイスは小型化・微細化・高集積化に伴い、非破壊・非接触での微小異物や微細欠陥の検査を可能にします。

関連製品

X線非破壊検査用の微小焦点X線源です。微小焦点により高幾何学倍率時でもボケの少ない高精細なX線画像の取得を可能にします。

X線非破壊検査用のX線2次元カメラです。増倍機能を有しており、高速移動被写体における高分解能・高コントラストのX線画像の取得を可能にします。

キセノンガスを充填したバルブ内の放電電極間に、集光したレーザ光でプラズマを発生させて発光を維持する方式を採用した世界で唯一の光源です。従来のキセノンランプに比べて、高輝度点発光・長寿命といった特長があります。

各種欠陥検査やエンドポイントモニタなどに用いられる高感度検出器です。高速蛍光体やシンチレータと組み合わせることにより、フォトダイオードでは検出ができない微弱な電子線も検出可能なため、走査電子顕微鏡(SEM)などにも使用可能です。

X線非破壊検査用のX線1次元カメラです。搬送される被検査物の内部をX線で撮像します。高速撮像が可能で全数検査にも対応します。

CCDの特殊な読み出し方式であるTDI (Time Delay Integration)を採用したカメラです。高速かつ高感度を両立したことにより、搬送される被検査物の移動に合わせて画像を積算して鮮明な撮像を可能にします。

APD

逆電圧を印加することにより光電流が増倍される高速・高感度のフォトダイオードです。高いS/Nが得られるため、微弱光検出に適しています。

電子線検出

電子線検出によるウェーハ検査を行います。

シンチレータと光検出器を組み合わせることで電子線検出を行います。電子線を使用することで装置の高分解能化に繋がります。

関連製品

各種欠陥検査やエンドポイントモニタなどに用いられる、高感度検出器と電子を光に変換するデバイスです。光電子増倍管と高速蛍光体を組み合わせることにより、フォトダイオードでは検出ができない微弱な電子線も検出可能です。

従来困難であった真空中に対応した静電気除去装置です。高エネルギー真空紫外線により、高い除電性能を実現します。

APD

逆電圧を印加することにより光電流が増倍される高速・高感度のフォトダイオードです。高いS/Nが得られるため、微弱光検出に適しています。

低エネルギー電子線検出用のSiフォトダイオードです。

除電

ウェーハなどの搬送時に発生する帯電やパターン転写前のウェーハの帯電を除去します。

Photoionization (光イオン化)を利用することにより、塵や電磁ノイズ・オゾンの発生しないクリーンな除電を実現します。

関連製品

大気中において高い除電能力を誇る静電気除去装置です。微弱X線を利用することにより、送風不要での0V除電を実現します。また、塵や電磁ノイズの発生がありません。

従来困難であった真空中に対応した静電気除去装置です。高エネルギー真空紫外線により、高い除電性能を実現します。

厚み測定

ウェーハ厚を測定してプロセス管理を行います。

ウェーハの厚みを測定して各工程にフィードバックすることにより、不良の発生を抑制して歩留まりを向上させます。

関連製品

レーザ干渉法を採用した非接触で膜厚測定が可能な装置です。厚みのあるガラス等が測定可能です。

抵抗値調整

ウェーハ上の回路パターンやガラス基板の切除を行います。

レーザアブレーションにより回路パターンなどを切除することで、各チップの抵抗値を調整して製品性能向上に貢献します。

関連製品

高い安定性と優れたメンテナンス性を備えた組込用のナノ秒パルス固体レーザです。1342 nmのレーザ光により、ウェーハ越しのトリミングを可能にします。

アライメント

ウェーハ検査における位置調整を行います。

半導体デバイスの・小型化・微細化・高集積化に伴い、僅かなズレも不良発生やスループット低下に繋がるため、高速かつ高精度な位置調整が必要です。

関連製品

縦長画素 (14 × 200 μm)の受光部を採用した高感度CMOSリニアイメージセンサです。紫外域から近赤外域で高感度を実現しています。

LED

電気エネルギーを光エネルギーに変換する半導体素子です。主に受光素子と組み合わせて使用します。赤色から赤外の波長のさまざまなパッケージのLEDを用意しています。

ウェーハ状態チェック

ウェーハの表面異物や内部欠陥の検査を行います。

非破壊・非接触での微小異物や微細欠陥の検査を可能であり、クラックや配線の状態測定やウェーハの反り測定により歩留まり向上が期待できます。

関連製品

近赤外域に高い感度をもつAPS型CMOSエリアイメージセンサです。画素フォーマットは、SXGA (1280 × 1024画素)で、最大146 frames/sでの撮像が可能です。

高速撮像時などの低照度下においても十分な明るさの画像が得られるTDI-CCDです。TDI動作により、移動する対象物を積分露光することで、感度を飛躍的に向上させました。

近赤外域に感度を有するカメラです。内部を透過撮影することで欠陥やボイド検査を可能にします。

紫外域において高い出力を有する安定性に優れた光源です。紫外域において連続スペクトルを有しており、また分析機器用ランプとして要求される長寿命・高安定・高出力を併せ持っています。

高い輝度・色温度で紫外域から赤外域までの連続スペクトルを有する光源です。弊社独自の高性能陰極の採用により、精密測光用ランプとして幅広く使用されています。 

瞬間的な高いピーク出力を有するパルス点灯光源です。紫外域から赤外域までの連続スペクトルにより、分析からイメージングまで幅広い用途で使用されています。

製品の購入やさらに詳しい情報についてはお問い合わせください。

  • 資料請求
  • 価格
  • 納期
  • カスタマイズ
  • サポート
  • その他

お問い合わせ

お問い合わせ内容によっては、回答にお時間をいただく場合やお答えできない場合がございますので、あらかじめご了承ください。