露光・現像

ウェーハに原版となる回路パターンを転写する工程です。

周辺露光

ウェーハ周辺の不要なレジストの除去を行います。

多種多様な紫外線光源により、高効率かつ高精度なレジスト除去を実現します。

関連製品

4ヘッド独立駆動のスポット型UV-LED光源です。手のひらサイズのコンパクト設計により、僅かなスペースへの設置など自由自在な設計を可能にします。

光学式微小寸法 (OCD)計測

転写された回路パターンの寸法計測を行います。

表面に対して白色光を微小角度で照射して反射回折光を分光・検出することで、パターン形状に沿った分光波形が得られ、そのデータを使用して表面構造などの微小寸法を測定します。高スループット・高再現性という特長があり、トレンチホールや複雑な三次元構造計測も可能です。

関連製品

超短パルスレーザを利用した非線形光学現象により生成される広帯域なレーザ光を出力するコンパクト設計のレーザ光源です。レーザの高い指向性と輝度特性に加えて、ランプの広帯域な発振スペクトルを兼ね備えています。

紫外域から近赤外域に感度をもつ計測用イメージセンサです。紫外域・近赤外域において高感度を実現したタイプや、紫外線照射に対して高い耐性をもつタイプなど、波長・使用目的に応じた幅広いラインアップを取り揃えています。

光学系・イメージセンサ・回路をコンパクトにまとめた小型分光器です。紫外域から近赤外域までの幅広い波長範囲に対応しています。

発光波長モニタ

微細パターン描画における光源の波長測定を行います。

高感度かつ短波長なイメージセンサにより、高精度な光源のモニタリングを可能にします。

関連製品

微弱光検出用に開発された計測用FFT-CCDエリアイメージセンサです。低ノイズ・低暗電流・広ダイナミックレンジのため、蓄積時間を長くすることによって微弱光の検出が可能になります。

除電

ウェーハなどの搬送時に発生する帯電やパターン転写前のウェーハの帯電を除去します。

Photoionization (光イオン化)を利用することにより、塵や電磁ノイズ・オゾンの発生しないクリーンな除電を実現します。

関連製品

大気中において高い除電能力を誇る静電気除去装置です。微弱X線を利用することにより、送風不要での0 V除電を実現します。また、塵や電磁ノイズの発生がありません。

従来困難であった真空中に対応した静電気除去装置です。高エネルギー真空紫外線により、高い除電性能を実現します。

アライメント

ウェーハと加工点の位置合わせを行います。

ウェーハとステージの位置がズレることで不良発生やスループット低下に繋がるため、高速かつ高精度なウェーハの位置決めと補正が必要です。

関連製品

縦長画素 (14 × 200 μm)の受光部を採用した高感度CMOSリニアイメージセンサです。紫外域から近赤外域で高感度を実現しています。

LED

電気エネルギーを光エネルギーに変換する半導体素子です。主に受光素子と組み合わせて使用します。赤色から赤外の波長のさまざまなパッケージのLEDを用意しています。

ウェーハ状態チェック

ウェーハの表面異物や内部欠陥の検査を行います。

表面異物検査用可視光デバイスや内部観察用近赤外カメラにより、非破壊・非接触での微小異物や微細欠陥の検査を可能にします。

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近赤外域に高い感度をもつAPS型CMOSエリアイメージセンサです。画素フォーマットは、SXGA (1280 × 1024画素)で、最大146 frames/sでの撮像が可能です。

高速撮像時などの低照度下においても十分な明るさの画像が得られるTDI-CCDです。TDI動作により、移動する対象物を積分露光することで、感度を飛躍的に向上させました。

近赤外域に感度を有するカメラです。内部を透過撮影することで欠陥やボイド検査を可能にします。

紫外域において高い出力を有する安定性に優れた光源です。紫外域において連続スペクトルを有しており、また分析機器用ランプとして要求される長寿命・高安定・高出力を併せ持っています。

高い輝度・色温度で紫外域から赤外域までの連続スペクトルを有する光源です。弊社独自の高性能陰極の採用により、精密測光用ランプとして幅広く使用されています。 

瞬間的な高いピーク出力を有するパルス点灯光源です。紫外域から赤外域までの連続スペクトルにより、分析からイメージングまで幅広い用途で使用されています。

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