Japan (JA)
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エッチング
薬液やプラズマ・反応ガスの化学反応の腐食作業を利用して回路を形成する工程です。
こちらではエッチングの工程で使用される当社製品をご紹介します。
終点判定、プラズマ発光分析
プラズマガスをリアルタイムで計測・モニタリングして終点検知を行います。
発光分析方式に最適な受発光デバイスならびに装置により、プラズマガスの微小な変化を捉え、高精度なプラズマガスのコンディション管理を可能にします。
関連製品
キセノンガスを充填したバルブ内の放電電極間に、集光したレーザ光でプラズマを発生させて発光を維持する方式を採用した世界で唯一の光源です。従来のキセノンランプに比べ紫外域において高輝度な光源で、長寿命/微小発光点といった特長があります。
各種欠陥検査やエンドポイントモニタなどに用いられる高感度検出器です。高速蛍光体やシンチレータと組み合わせることにより、フォトダイオードでは検出ができない微弱な電子線も検出可能なため、走査電子顕微鏡(SEM)などにも使用可能です。
瞬間的に高いピーク出力を有するパルス点灯光源です。紫外域から赤外域までの連続スペクトルにより、分析からイメージングまで幅広い用途で使用されています。
微弱光検出用に開発された計測用FFT-CCDエリアイメージセンサです。低ノイズ・低暗電流・広ダイナミックレンジのため、蓄積時間を長くすることによって微弱光の検出が可能になります。
当社独自の結晶技術により、波長5 μm帯、8 μm帯、10 μm帯で高感度を実現した検出素子です。高速応答が特長で、QCLと組み合わせた赤外線計測に用いられます。
光学系・イメージセンサ・回路をコンパクトにまとめた小型分光器です。紫外域から近赤外域までの幅広い波長範囲に対応しています。
プロセス中のプラズマ発光を連続測定する装置です。エッチングの終点検知やプラズマ状態監視等が可能です。
TDLAS(波長可変ダイオードレーザ吸収分光法)に最適な光源です。ハイスループットで連続的なガス計測が可能です。
除電
ウェーハなどの搬送時に発生する帯電を除去します。
Photoionization（光イオン化）を利用することにより、塵や電磁ノイズ・オゾンの発生しないクリーンな除電を実現します。
関連製品
大気中において高い除電能力を誇る静電気除去装置です。微弱X線を利用することにより、送風不要での0V除電を実現します。また、塵や電磁ノイズの発生がありません。
従来困難であった真空中に対応した静電気除去装置です。高エネルギー真空紫外線により、高い除電性能を実現します。
光学式微小寸法（OCD）計測
エッチング後の配線幅などの寸法計測を行います。
表面に対して白色光を微小角度で照射して反射回折光を分光・検出することで、パターン形状に沿った分光波形が得られ、そのデータを使用して表面構造などの微小寸法を測定します。高スループット・高再現性という特長があり、トレンチホールや複雑な三次元構造計測も可能です。
関連製品
超短パルスレーザを利用した非線形光学現象により生成される広帯域なレーザ光を出力するコンパクト設計のレーザ光源です。レーザの高い指向性と輝度特性に加えて、ランプの広帯域な発振スペクトルを兼ね備えています。
紫外域から近赤外域に感度をもつ計測用イメージセンサです。紫外域・近赤外域において高感度を実現したタイプや、紫外線照射に対して高い耐性をもつタイプなど、波長・使用目的に応じた幅広いラインアップを取り揃えています。
光学系・イメージセンサ・回路をコンパクトにまとめた小型分光器です。紫外域から近赤外域までの幅広い波長範囲に対応しています。
膜厚測定
エッチング前の膜厚の測定を行います。
分光干渉法を利用した非接触の膜厚計を使用することでIn-situで膜厚管理が可能です。幅広い膜厚測定に適応しており、高輝度・短波長の光源を採用することで極薄膜測定への対応も可能にします。
関連製品
非接触かつリアルタイムで薄膜の膜厚測定が可能です。装置組み込みを容易にするために小型化を実現しています。
キセノンガスを充填したバルブ内の放電電極間に、集光したレーザ光でプラズマを発生させて発光を維持する方式を採用した世界で唯一の光源です。従来のキセノンランプに比べ紫外域において高輝度な光源で、長寿命/微小発光点といった特長があります。
超短パルスレーザを利用した非線形光学現象により生成される広帯域なレーザ光を出力するコンパクト設計のレーザ光源です。レーザの高い指向性と輝度特性に加えて、ランプの広帯域な発振スペクトルを兼ね備えています。
レーザ直描パターニング
レーザ走査により、ウェーハ上に塗布された感光剤に直接描画を行います。
フォトマスク無しでの加工を可能にするため、多品種少量生産やコスト削減に貢献します。
アライメント
ウェーハと加工点の位置合わせを行います。
ウェーハとステージの位置がズレることで不良発生やスループット低下に繋がるため、高速かつ高精度なウェーハの位置決めと補正が必要です。
関連製品
縦長画素 (14 × 200 μm)の受光部を採用した高感度CMOSリニアイメージセンサです。紫外域から近赤外域で高感度を実現しています。
電気エネルギーを光エネルギーに変換する半導体素子です。主に受光素子と組み合わせて使用します。赤色から赤外の波長のさまざまなパッケージのLEDを用意しています。
ウェーハ状態チェック
ウェーハの表面異物や内部欠陥の検査を行います。
表面異物検査用可視光デバイスや内部観察用近赤外カメラにより、非破壊・非接触での微小異物や微細欠陥の検査を可能にします。
関連製品
近赤外域に高い感度をもつAPS型CMOSエリアイメージセンサです。画素フォーマットは、SXGA (1280 × 1024画素)で、最大146 frames/sでの撮像が可能です。
高速撮像時などの低照度下においても十分な明るさの画像が得られるTDI-CCDです。TDI動作により、移動する対象物を積分露光することで、飛躍的に高い感度を得ることができます。
近赤外に感度を有するカメラです。内部を透過撮影することで欠陥やボイド検査が可能です。
重水素(D2)の放電を利用したランプで、400 nm以下の紫外域に強い発光スペクトルを持ちます。他の光源の追随を許さない高安定を特長とした光源です。
高い輝度・色温度で紫外域から赤外域までの連続スペクトルを有する光源です。弊社独自の高性能陰極の採用により、精密測光用ランプとして幅広く使用されています。
瞬間的に高いピーク出力を有するパルス点灯光源です。紫外域から赤外域までの連続スペクトルにより、分析からイメージングまで幅広い用途で使用されています。
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