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静電気除去装置 VUV Ionizer
- 真空紫外光は電源投入後すぐに照射されますか？
- 真空紫外光による対象物への影響はありますか？
- 真空紫外光によるPhotoionization(光イオン化)に寄与する残留原子 / 分子は何ですか？
- 除電効果の高い範囲はどこになりますか？
- 照射距離の違いにより特性はどのように変わりますか？
- プラス帯電とマイナス帯電で除電効果に違いがあるのはなぜですか？
- 大気環境下で除電効果は得られますか？
- 真空度による除電効果の違いはありますか？
- ガス環境下での使用を想定した場合、VUV Ionizerに悪影響を及ぼすガスはありますか？
- 短周期でのON / OFF制御は可能ですか？
- 光源部のメンテナンスはどのように行えば良いのでしょうか？
- 光源部の交換時期はどのように判断すれば良いのでしょうか？
- VUV Ionizerを取り付けた状態での真空チャンバのベーキングは可能ですか？
- カスタマイズは可能ですか？
- 事前評価は可能ですか？
- VUV Ionizer導入にあたり、対応が必要な法規制はありますか？
真空紫外光は電源投入後すぐに照射されますか？
VUV Ionizer内蔵の重水素ランプは熱陰極を採用しています。電源投入から20秒程度はウォームアップ時間(フィラメントを予備加熱している時間)となるため、このウォームアップ時間中は真空紫外光は照射されません。
真空紫外光による対象物への影響はありますか？
高エネルギー真空紫外光であるため、長時間当てた場合に対象物がダメージを受ける可能性があります。
ダメージは対象物によって異なるため、実際の導入環境で照射実験を行うことをお勧めします。サンプルをお送りいただければ、弊社にて照射実験を行うことも可能ですので、お気軽にご相談ください。
対象物に真空紫外光を直接照射したくない場合には、間接照射による除電の提案も可能です。ただし、直接照射に比べて、除電効果が低下するため、別途ご相談ください。
真空紫外光によるPhotoionization(光イオン化)に寄与する残留原子 / 分子は何ですか？
真空チャンバ内に残留する大気由来成分の原子 / 分子と考えられています。
除電効果の高い範囲はどこになりますか？
真空紫外光を照射することで電子・イオンが生成されるため、真空紫外光が照射されている範囲が最も除電効果の高い範囲となります。高い除電効果が必要な場合は、真空紫外光を直接対象物に照射することを推奨しています。
照射距離の違いにより特性はどのように変わりますか？
VUV Ionizer内蔵の重水素ランプからの真空紫外光は発光点を起点に配光角をもって広がるため、対象物との距離が長いほど照射エリアは広くなります。ただし、対象物との距離が長いほど光出力が減衰するため、それに伴って生成されるイオンも減衰して除電効果が低下します。
プラス帯電とマイナス帯電で除電効果に違いがあるのはなぜですか？
プラス帯電には電子と－(マイナス)イオンが除電に寄与しており、マイナス帯電には＋(プラス)イオンが除電に寄与していると考えています。そのことから、その移動速度を含めた違いが除電効果に影響していると考えています。
大気環境下で除電効果は得られますか？
大気環境下では除電効果は得られません。
真空紫外光は酸素に吸収されるため、真空環境下において除電効果が得られます。また、窒素などの不活性ガスで十分置換された環境下においても除電効果が得られます。
大気環境下での除電については、弊社製品のPhotoIonizerをご使用ください。
真空度による除電効果の違いはありますか？
高真空度になると残留分子 / 原子が減少して除電効果が若干低下しますが、10-6 Pa程度までは除電効果に大きな違いがないことが確認できています。
ガス環境下での使用を想定した場合、VUV Ionizerに悪影響を及ぼすガスはありますか？
VUV Ionizer内蔵の重水素ランプの照射窓にはMgF2光学結晶が使用されているため、以下ガスであれば悪影響はありません。
・希ガス ・大気由来 ・ハロゲン系(HCl, HF)
・フロンガス系(CF4, CCl2F2 など)
その他環境については、弊社までお問い合わせください。
短周期でのON / OFF制御は可能ですか？
数秒単位・数分単位での断続点灯は短寿命に繋がるため、数秒単位・数分単位でのON / OFF制御にはシャッタを用いた真空紫外光の遮へいを推奨しています。
L12542の場合、保証寿命2000時間に対して、連続点灯時の期待寿命は6000時間以上ですが、数秒単位・数分単位での断続点灯時では保証寿命を下回るケースがあります。
光源部のメンテナンスはどのように行えば良いのでしょうか？
VUV Ionizer内蔵の重水素ランプの照射窓の汚れをアセトンなどの揮発性溶剤で拭き取ってください。その際、アセトンなどの揮発性溶剤が照射窓に残らないように乾拭きしてください。汚れが付いたまま点灯すると、汚れが焼き付いて除電性能低下(透過率の早期低下に伴う光出力減衰)の原因となる可能性があります。
光源部の交換時期はどのように判断すれば良いのでしょうか？
弊社では保証寿命または一定の使用時間での交換を推奨しています。点灯時間は電源部の外部制御機能のランプステータス信号から算出可能です。
基本的に点灯しなくなるまで除電効果は得られますので、交換時期などでお悩みの場合は、弊社までご相談ください。
VUV Ionizerを取り付けた状態での真空チャンバのベーキングは可能ですか？
本体を真空チャンバ外に設置するL12542・L15094は、真空チャンバ表面(真空フランジ取付部)の温度が140 °C以下であればベーキングは可能です。ただし、ベーキング中は真空紫外光を照射しないでください。（光源を点灯しないでください。）
真空チャンバ表面の温度が140 °C以上になる場合やベーキング中に真空紫外光を照射したい場合はご相談ください。
本体を真空チャンバ内に設置するL10706は、保存温度以上でのベーキングは行わないでください。
カスタマイズは可能ですか？
VUV Ionizer・真空フランジともに、用途や条件に合わせて検討しますので、お気軽にご相談ください。
真空フランジについては設計・製造だけでなく、設計の技術サポートも行っています。
事前評価は可能ですか？
シミュレーション対応ならびに評価機貸出を行っていますので、お気軽にお問い合わせください。
VUV Ionizer導入にあたり、対応が必要な法規制はありますか？
対応が必要な法規制はありません。
ただし、紫外線による人体などへの影響を懸念する場合は、以下参照の上対応してください。
・取り扱いの際には保護具を必ず着用してください。(JIS T 8141 参照)
・ビューイングポートにカラーフィルムなどを貼ることで遮蔽をしてください。
また、大気中で仮点灯を行う場合にはオゾンが発生しますので、確実に換気を行ってください。
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